akụkọ

A makwaara teknụzụ ịkpụ waya diamond dị ka teknụzụ ịkpụ ihe na-emebi emebi. Ọ bụ iji electroplating ma ọ bụ resin bonding method nke abrasive diamond consolidated n'elu waya ígwè, waya diamond na-arụ ọrụ ozugbo n'elu mkpanaka silicon ma ọ bụ silicon ingot iji mepụta igwe, iji nweta mmetụta nke ịkpụ. Ịkpụ waya diamond nwere njirimara nke ọsọ ịkpụ ngwa ngwa, izi ezi dị elu na obere mfu ihe.

Ugbu a, a nabatala ahịa kristal maka ịkpụ waya diamond, mana ọ hụkwala n'usoro nkwalite, nke velvet ọcha bụ nsogbu kachasị. N'ihi nke a, akwụkwọ a lekwasịrị anya n'otu esi egbochi ịkpụ waya diamond na monocrystalline silicon wafer velvet ọcha.

Usoro nhicha nke waya diamond ịkpụcha waya monocrystalline silicon wafer bụ iwepụ waya silicon nke e ji waya saw gwepịa na efere resin, wepụ eriri roba ahụ, ma hichaa waya silicon ahụ. Ngwa nhicha bụkarị igwe nhicha tupu ehicha (igwe nhicha) na igwe nhicha. Isi usoro nhicha nke igwe nhicha tupu ehicha bụ: inye nri-fesa-fesa-ultrasonic cleaning-degumming-water cleaning-underfeeding. Isi usoro nhicha nke igwe nhicha bụ: inye nri-nsị-mmiri dị ọcha-ịsa-mmiri dị ọcha-ịsa-alkali-ịsa-alkali-ịsa-mmiri dị ọcha-ịsa-mmiri dị ọcha-ịsa-mmiri dị ọcha-ịsa-mmiri tupu ewepụ mmiri (iweli nwayọ nwayọ) -ịkpọ nkụ-inye nri.

Ụkpụrụ nke ime otu kristal velvet

Wafer silicon monocrystalline bụ njirimara nke anisotropic corrosion nke wafer silicon monocrystalline. Ụkpụrụ mmeghachi omume bụ nhazi mmeghachi omume kemịkalụ ndị a:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

N'ikwu ya n'ụzọ dị mfe, usoro nhazi suede bụ: Ngwọta NaOH maka ọnụego nchara dị iche iche nke elu kristal dị iche iche, (100) ọsọ nchara elu karịa (111), ya mere (100) na wafer silicon monocrystalline mgbe anisotropic corrosion gasịrị, mechara mepụta n'elu maka (111) cone nwere akụkụ anọ, ya bụ, usoro "pyramid" (dịka egosiri na eserese 1). Mgbe e guzobere usoro ahụ, mgbe ìhè ahụ dabara na mkpọda pyramid n'akụkụ ụfọdụ, ìhè ahụ ga-apụta ìhè na mkpọda ahụ n'akụkụ ọzọ, na-emepụta nnabata nke abụọ ma ọ bụ karịa, si otú a na-ebelata ntụgharị uche n'elu wafer silicon, ya bụ, mmetụta ọnyà ìhè (lee eserese 2). Ka nha na nha nha nke usoro "pyramid" ka mma, otú ahụ ka mmetụta ọnyà ahụ na-apụta ìhè karị, na obere emitrate elu nke wafer silicon.

Foto 1: Micromorphology nke wafer silicon monocrystalline mgbe mmepụta alkali gasịrị

Foto nke 2: Ụkpụrụ ọnyà ọkụ nke usoro "pyramid"

Nnyocha nke otu kristal ọcha

Site na inyocha igwe elektrọn na wafer silicon ọcha, achọpụtara na obere nhazi pyramid nke wafer ọcha dị na mpaghara ahụ etoliteghị, elu ya yikwara ka ọ nwere oyi akwa nke ihe fọdụrụ "wax", ebe nhazi pyramid nke suede dị na mpaghara ọcha nke otu wafer silicon ahụ ka mma (lee Foto 3). Ọ bụrụ na enwere ihe fọdụrụ n'elu wafer silicon monocrystalline, elu ahụ ga-enwe nha nhazi "pyramid" na mmepụta nha nha na mmetụta nke mpaghara nkịtị ezughị oke, nke na-eme ka ntụgharị elu velvet fọdụrụ dị elu karịa mpaghara nkịtị, mpaghara nwere ntụgharị dị elu ma e jiri ya tụnyere mpaghara nkịtị na anya na-egosipụta dị ka ọcha. Dịka a pụrụ ịhụ site na ọdịdị nkesa nke mpaghara ọcha, ọ bụghị ọdịdị nkịtị ma ọ bụ nke nkịtị na nnukwu mpaghara, kama ọ bụ naanị na mpaghara mpaghara. O kwesịrị ịbụ na ehichabeghị ihe ndị na-emerụ emerụ dị n'elu wafer silicon, ma ọ bụ ọnọdụ elu nke wafer silicon bụ nke mmetọ nke abụọ kpatara.

Foto nke 3: Ntụnyere ọdịiche dị n'etiti obere nhazi mpaghara na wafer silicon ọcha velvet

Elu waya silicon e ji waya diamond bee na-adị nro karịa, mmebi ahụ dịkwa obere (dịka egosiri na Foto nke 4). Ma e jiri ya tụnyere waya silicon e ji waya silicon bee, ọsọ mmeghachi omume nke elu waya silicon e ji waya diamond bee na-adị nwayọ karịa nke waya silicon e ji waya monocrystalline bee, yabụ mmetụta nke ihe fọdụrụ n'elu na mmetụta velvet na-apụta ìhè karịa.

Foto nke 4: (A) Micrograph elu nke wafer silicon nke a kpụchara akpụ (B) nke wafer silicon nke a kpụchara akpụ.

Isi ihe fọdụrụ nke elu wafer silicon nke e ji waya mee ka ọ dị ka diamond

(1) Ihe na-eme ka mmiri dị jụụ: ihe ndị bụ isi dị na ihe na-eme ka mmiri dị jụụ bụ ihe na-eme ka mmiri dị jụụ, ihe na-agbasa, ihe na-emebi emebi na mmiri na ihe ndị ọzọ. Mmiri ahụ na-eme ka mmiri dị mma nwere ezigbo ihe mgbochi, mgbasa na ikike nhicha dị mfe. Ihe na-eme ka mmiri dị ọcha na-enwekarị ihe ndị na-eme ka mmiri dị ọcha, nke dị mfe ihicha n'usoro nhicha silicon wafer. Ịkpalite na mgbasa nke ihe ndị a na-etinye n'ime mmiri ga-emepụta ọtụtụ ụfụfụ, nke na-eme ka mmiri dị jụụ belata, na-emetụta arụmọrụ oyi, yana nsogbu siri ike nke ụfụfụ na ọbụna ụfụfụ na-ejupụta, nke ga-emetụta ojiji nke ukwuu. Ya mere, a na-ejikarị ihe na-eme ka mmiri dị jụụ na ihe na-eme ka mmiri dị jụụ. Iji hụ na arụmọrụ ya na-eme ka mmiri dị ọcha, silicone na polyether ọdịnala anaghị adị mma. Ihe mgbaze dị na mmiri dị mfe ịmịnye ma nọgide na-adị n'elu silicon wafer na nhicha na-esote, na-ebute nsogbu nke ntụpọ ọcha. Ọ dakọghịkwa nke ọma na ihe ndị bụ isi nke ihe na-eme ka mmiri dị jụụ. Ya mere, a ga-eme ya ka ọ bụrụ ihe abụọ. E tinyere ihe ndị bụ isi na ihe na-eme ka mmiri dị ọcha n'ime mmiri. N'usoro ojiji, dịka ọnọdụ ụfụfụ si dị, Enweghị ike ijikwa ojiji na usoro onunu ogwu nke ihe na-eme ka mmiri dị ọcha, Ọ nwere ike ikwe ka ihe ndị na-eme ka mmiri dị oke njọ, Na-eduga n'ịbawanye na ihe fọdụrụ n'elu silicon wafer, Ọ na-adịkwa mfe ịrụ ọrụ, Agbanyeghị, n'ihi ọnụ ahịa dị ala nke ihe ndị e ji emepụta ihe na ihe ndị na-eme ka mmiri dị ọcha, Ya mere, ọtụtụ n'ime ihe na-eme ka mmiri dị jụụ n'ime ụlọ niile na-eji usoro a; ihe na-eme ka mmiri dị jụụ ọzọ na-eji ihe ọhụrụ na-eme ka mmiri dị ọcha, Ọ nwere ike dakọtara nke ọma na ihe ndị bụ isi, Ọ dịghị mgbakwunye, Ọ nwere ike ijikwa ọnụọgụ ya nke ọma na nke ukwuu, Ọ nwere ike igbochi ojiji gabigara ókè, Mmega ahụ dịkwa mma ime, Site na usoro nhicha kwesịrị ekwesị, enwere ike ijikwa ihe fọdụrụ ya ruo ọkwa dị ala, Na Japan na ụfọdụ ndị nrụpụta ụlọ na-anabata usoro usoro a, Agbanyeghị, n'ihi ọnụ ahịa ihe dị elu ya, uru ọnụahịa ya abụghị ihe doro anya.

(2) Ụdị gluu na resin: na ọkwa ikpeazụ nke usoro ịkpụ waya diamond, a gbubiri wafer silicon dị nso na njedebe na-abata tupu oge eruo, Wafer silicon dị na njedebe ọpụpụ akabeghị, Waya diamond a gbubiri mbụ amalitela ịkpụ na oyi akwa roba na efere resin, Ebe ọ bụ na gluu mkpanaka silicon na osisi resin bụ ngwaahịa resin epoxy, Isi ihe na-eme ka ọ dị nro dị n'etiti 55 na 95℃, Ọ bụrụ na ebe dị nro nke oyi akwa roba ma ọ bụ efere resin dị ala, ọ nwere ike ikpo ọkụ ngwa ngwa n'oge usoro ịkpụ ma mee ka ọ dị nro ma gbazee, Ejikọtara ya na waya ígwè na elu wafer silicon, Na-eme ka ikike ịkpụ nke ahịrị diamond belata, Ma ọ bụ na a na-enweta wafer silicon ma tee ya na resin, Ozugbo etinyere ya, ọ na-esiri ike ịsacha ya, Mmetọ dị otú ahụ na-emekarị nso nsọtụ nsọtụ wafer silicon.

(3) ntụ ntụ silikọn: n'oge ịkpụ waya daịamọnd, ọ ga-emepụta ọtụtụ ntụ ntụ silikọn, na ịkpụ ya, ntụ ntụ mmiri oyi akwa ga-adị elu karịa, mgbe ntụ ntụ ahụ buru ibu, ọ ga-arapara n'elu silikọn, na ịkpụ waya daịamọnd nke ntụ ntụ silikọn nha na nha ya ga-eme ka ọ dị mfe ịmịnye ya n'elu silikọn, mee ka ọ sie ike ihicha ya. Ya mere, hụ na emelitere na ịdị mma nke ihe mkpuchi ahụ ma belata ọdịnaya ntụ ntụ dị na ihe mkpuchi ahụ.

(4) ihe nhicha: ojiji nke ndị na-emepụta waya diamond ugbu a na-ejikarị ihe mkpofu ụrọ n'otu oge, na-ejikarị ihe mkpofu ụrọ tupu ịsacha, usoro nhicha na ihe nhicha, wdg., teknụzụ ịkpụ waya diamond otu site na usoro ịkpụ, mepụta usoro zuru oke nke ahịrị, ihe na-ekpo ọkụ na ihe mkpofu ụrọ nwere nnukwu ọdịiche, yabụ usoro nhicha kwekọrọ, usoro nhazi ihe nhicha, usoro, wdg kwesịrị ịbụ maka ịkpụ waya diamond mee mgbanwe kwekọrọ. Ihe nhicha bụ akụkụ dị mkpa, usoro ihe nhicha mbụ nke ihe nhicha surfactant, alkalinity adịghị mma maka ihicha waya diamond ịkpụ waya silicon, kwesịrị ịdị maka elu waya diamond wafer silicon, ihe mejupụtara na ihe fọdụrụ n'elu nke ihe nhicha ezubere iche, ma were ya na usoro nhicha. Dịka ekwuru n'elu, ihe mejupụtara ihe na-eme ka ihe ghara ịdị ọcha adịghị mkpa na ịkpụ waya.

(5) Mmiri: Ịcha waya diamond, ịsacha tupu oge eruo na ihicha mmiri jupụtara nwere ihe ndị na-adịghị mma, enwere ike itinye ya n'elu wafer silicon.

Belata nsogbu nke ime ka ntutu isi velvet dị ọcha pụta ìhè aro

(1) Iji ihe mkpuchi oyi nke nwere mgbasa dị mma, a chọrọ ka ihe mkpuchi oyi jiri ihe na-eme ka ihe dị nro belata ihe fọdụrụ nke ihe mkpuchi oyi n'elu wafer silicon;

(2) Jiri gluu na efere resin kwesịrị ekwesị iji belata mmetọ nke wafer silicon;

(3) A na-agwakọta ihe mkpuchi ahụ na mmiri dị ọcha iji hụ na ọ dịghị ihe ruru unyi dị mfe fọdụrụ na mmiri ejiri mee ihe;

(4) Maka elu waya diamond nke e bepụrụ waya silicon, jiri ọrụ na mmetụta nhicha ihe nhicha kwesịrị ekwesị;

(5) Jiri sistemụ mgbake mmiri dị n'ịntanetị nke diamond line coolant belata ọdịnaya nke ntụ silicon n'oge ịkpụ ihe, ka i wee chịkwaa ihe fọdụrụ na ntụ silicon n'elu wafer silicon nke wafer ahụ nke ọma. N'otu oge ahụ, ọ nwekwara ike ime ka okpomọkụ mmiri, mmiri na oge dịkwuo mma n'oge ịsa ahụ tupu ịsa ahụ, iji hụ na a sachara ntụ silicon n'oge

(6) Ozugbo etinyere wafer silicon n'elu tebụl nhicha ahụ, a ga-agwọ ya ozugbo, ma mee ka wafer silicon dị mmiri mmiri n'oge nhicha ahụ dum.

(7) Wafer silicon na-eme ka elu mmiri dị mmiri n'oge a na-ewepụ ihe mkpofu, ọ naghịkwa akpọnwụ akpọnwụ n'onwe ya. (8) N'ime usoro nhicha nke wafer silicon, enwere ike ibelata oge a na-ekpughe n'ikuku ruo n'ókè o kwere mee iji gbochie mmepụta okooko osisi n'elu wafer silicon.

(9) Ndị ọrụ nhicha agaghị emetụ elu wafer silicon ahụ aka ozugbo n'oge ọrụ nhicha ahụ dum, ha ga-eyikwa uwe aka roba, ka ha ghara imepụta mbipụta mkpịsị aka.

(10) N'ihe ntụaka [2], njedebe batrị na-eji usoro nhicha hydrogen peroxide H2O2 + alkali NaOH dịka oke olu nke 1:26 (3%NaOH solution) si dị, nke nwere ike ibelata nsogbu ahụ nke ọma. Ụkpụrụ ya yiri ngwọta nhicha SC1 (nke a maara dị ka mmiri mmiri 1) nke wafer silicon semiconductor. Isi usoro ya: ihe nkiri oxidation na elu wafer silicon na-etolite site na oxidation nke H2O2, nke NaOH mebiri emebi, oxidation na corrosion na-emekwa ugboro ugboro. Ya mere, ihe ndị dị na ntụ silicon, resin, metal, wdg) na-adabakwa n'ime mmiri nhicha na oyi akwa corrosion; n'ihi oxidation nke H2O2, ihe organic dị na elu wafer na-agbaze ka ọ bụrụ CO2, H2O ma wepụ ya. Usoro nhicha a abụrụla ndị nrụpụta wafer silicon na-eji usoro a eme ihe iji hazie nhicha nke wafer silicon monocrystalline nke na-egbutu waya diamond, wafer silicon na ụlọ na Taiwan na ndị nrụpụta batrị ndị ọzọ na-eji otu ogbe velvet ọcha eme mkpesa nsogbu. E nwekwara ndị na-emepụta batrị ejirila usoro nhicha velvet yiri nke ahụ, ha na-ejikwa ọdịdị nke velvet ọcha nke ọma. A pụrụ ịhụ na a na-etinye usoro nhicha a na usoro nhicha silicon wafer iji wepụ ihe fọdụrụ na silicon wafer ka o wee dozie nsogbu nke ntutu isi ọcha na njedebe batrị nke ọma.

mmechi

Ugbu a, ịkpụ waya diamond aghọọla teknụzụ nhazi bụ isi n'ọhịa nke ịkpụ kristal otu, mana n'usoro ịkwalite nsogbu nke ime ka waya velvet na-enye nsogbu na ndị na-emepụta batrị, nke na-eduga na ndị na-emepụta batrị na waya silicon nwere ụfọdụ iguzogide. Site na nyocha ntụnyere nke mpaghara ọcha, ọ bụ ihe fọdụrụ n'elu waya silicon kpatara ya. Iji gbochie nsogbu nke waya silicon na sel nke ọma, akwụkwọ a na-enyocha isi mmalite nke mmetọ elu nke waya silicon, yana aro na usoro mmezi na mmepụta. Dịka ọnụọgụgụ, mpaghara na ọdịdị nke ntụpọ ọcha si dị, enwere ike inyocha ma melite ihe kpatara ya. A na-atụ aro ya karịsịa iji usoro nhicha hydrogen peroxide + alkali. Ahụmịhe gara nke ọma egosila na ọ nwere ike igbochi nsogbu nke waya diamond ịkpụ waya silicon na-eme ka velvet acha ọcha, maka ntụaka nke ndị nọ n'ime ụlọ ọrụ na ndị na-emepụta ihe n'ozuzu.